性能による分類:
(1) 高純度酸化イットリウムセラミックス
電子工学の分野では、材料の純度要件は非常に高くなります。高純度酸化イットリウムセラミックス（含有率99.99％以上）により、電子部品製造装置の安定した性能を確保します。高純度酸化イットリウムセラミックディスクを例にとると、その優れた耐食性、耐プラズマ性、耐高温性により、高温で過酷な環境下でも長期間にわたって機器の安定した動作が保証され、材料問題に起因する機器の故障やダウンタイムが減少し、部品の寿命が延長され、メンテナンスや交換の頻度が低減されます。これは、製造装置の安定した性能の確保、製品の品質保証、生産効率の向上を支える重要なサポートです。
(2) 電気絶縁性酸化イットリウムセラミックス
高電圧および大電流の反応チャンバーで使用されるコンポーネントの場合、電気絶縁性は重要な評価指標です。酸化イットリウムコーティングは、アルミナコーティングと比較して優れた電気絶縁特性を備えているため、安定した機器の製造を保証するための理想的な選択肢です。酸化イットリウムでコーティングされた上部電極を例にとると、陽極酸化処理を採用して高純度の酸化イットリウム粉末を基板表面に噴霧し、高電気絶縁強度、低誘電率、高抵抗率を備えた均一で滑らかな皮膜を形成します。これにより、電流漏れを効果的に防止し、信号干渉を低減し、極端な条件下でも電子機器の安定した動作を保証します。したがって、電子部品の位置を固定し、短絡や過負荷を防止し、回路の正常な動作を保証するために、電子部品の製造およびパッケージングに広く使用されています。
アプリケーションの分類によると:
(1) モジュール部品用酸化イットリウムセラミックス
モジュール部品用酸化イットリウムは主に電子部品製造装置に使用されます。酸化イットリウムセラミックリングを例にとると、プラズマ処理装置では酸化イットリウムリングが絶縁基板として機能し、装置と接地部間のアーク放電を効果的に低減します。酸化イットリウムリングは、石英リングと比較して、反応性が低く誘電率が高いため、材料と反応する可能性が低く、電磁波の透過が良好で、電子部品の製造においてより均一な基板条件を提供します。
(2) 酸化イットリウムコーティング
酸化イットリウム コーティングは、スプレーまたはコーティングによって物体の表面に塗布され、極端な物理的および化学的影響に耐える必要がある機器に特に適した高性能保護材料を形成します。優れた耐高温性、耐摩耗性、耐食性を備えており、高温、高圧、高腐食性の環境下でも安定した性能を維持し、装置の耐久性と信頼性を大幅に向上させ、電子部品の製造中に発生する粒子汚染を効果的に低減し、装置の効率と製造精度を向上させます。