の生産希土類フッ化物主に以下の方法によります。
フッ化水素酸フッ素化。この方法では、乾燥したフッ化水素ガスを希土類酸化物と650～700度で反応させて高純度の無水フッ化水素を得る。希土類フッ化物このプロセスでは、水平固定式フッ素化炉を使用し、焼成した希土類酸化物をプラチナボートまたはニッケル容器に詰めて炉内に配置し、650 度または 700 度に加熱して、炉を密閉した後 4 ～ 5 時間保温し、その後 300 度に冷却して HF ガスを停止し、排出のために 100 度未満まで冷却を続けます。
フッ化アンモニウムフッ素化。この方法は、加熱条件下で固体のフッ化アンモニウムをフッ素化剤として使用し、希土類酸化物を無水フッ化物に直接フッ素化します。希土類フッ化物. 希土類フッ化物および 30% 過剰の NH4F · 混合後、HF をプラチナボートに詰め、加熱炉で 300 度に加熱し、完全に反応するまで 12 時間インキュベートします。
湿式法。この方法では、希土類化合物の溶液にフッ化物（フッ化水素酸、重フッ化アンモニウムなど）を加え、得られた沈殿物を洗浄して乾燥させて調製します。希土類フッ化物このプロセスでは、希土類溶液にフッ化水素酸をゆっくりと加え、5% ～ 10% 過剰にすることで、撹拌しながら希土類フッ化物を完全に沈殿させます。得られた水和フッ化物は濾過され、70 度、pH=5 ～ 6 の純水で洗浄され、その後、乾燥、粉砕され、450 ～ 700 度、1332.66 x 10-4Pa で真空脱水されます。